＜特点＞

　大型液晶基板非破坏性测定
　
　　　不需要对基板进行切割，非破坏状态下进行观察。

　真空吸着方式轻松对基板进行固定

　　　　基板固定使用花岗岩制高精度吸着台面。

　电脑控制台面

　　　　测定点的位置决定利用电脑简单设定方式进行测定。

　抵御高振动设计

　　　　测定部安装高性能防震台，并实现高刚性、低重心设计来抵御外部振动。

　探针更换容易

　安装高倍率放大显微镜

＜分析软件＞

　任意断面分析

　　　　测定画像中任意断面及平均断面上2点间的距离、高度、锥角角度测定。

　高度测定

　　　　任意2面平均高度的高度测定、线断面、平均断面任意点的高度测定。

　形状分析　　

　　　　任意面内柱状图和Bearing比例表示、高低差等分析。　

　粗糙度分析

　　　　任意2点线粗糙度、任意面内粗糙度测定。

　粒子分析

　　　　粒粒子面积的平均、标准偏差、柱状图、总合、总个数、测定范围所占比例测定。

　角度分布分析

　　　　任意面内角度分布用柱状图表示。　　

　高度测定软件

　　　　与以往高度差计有相同的功能，实现AFM高分析能力的高度差测定。进行精确高度差、锥角角度、线粗糙度的测定。