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规格
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项目
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品名/型号
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CD/0VERLAY CMT-4000
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检查项目
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TFT-LCD基板 Pattern线宽/重复偏移
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对应玻璃基板（※）
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基板尺寸：600mm×720mm 基板厚度： t0.7
及 t 1.1厚度
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像素精度
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0.068um/像素～1.36um/像素
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检查（计测/检出）精度
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金属膜 ：3σ≦0.05um（对物透镜×50倍时）
保护膜、ITO等 ：3σ≦0.10um（对物透镜×50倍时）
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1画面相当视野
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约65um～1300um（对物透镜×5～×100倍时）
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摄像头
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高精度100万像素CCD范围感应器摄像头
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照明系统（光学系统）
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同轴落射照明（透过照明为选项）
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观察系统
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明视野、暗视野、荧光、微分干涉（除了明视野以外都作为选项）
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Recipe
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1000个设定/保存可能
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台面
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XZ台面
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行程 X：750mm Z：30mm
精度 X：0.5um Z：0.04um
重复精度 X：±1.0um Z：±0.2um
最高速度 X：250mm/秒 Z：1.5秒/1mm合焦点远方
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Y台面
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行程 850mm 精度 0.5umm 重复精度 ±1.0um
最高速度 250mm/秒
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Θ台面
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行程 ±1.0° 精度 0.13sec/pulse
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自动对焦
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原理
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红外线可视激光刀口远近判定法
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对焦速度
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0.2秒（合焦点100um时）
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重复再现性
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±0.2um以内
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Utility
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电源
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AC210V±10% 75A （60Hz）
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压力
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5～8Kg/cm2 200LPM
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真空
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检查装置：－600mmHg以下50LP
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、
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ROBOT用：－600mmHg以下 30LPM
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排气
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空压用：200LPM（1 计）
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、
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局部用：300LPM（2 计）
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热排气
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光源用：6000LPM（5 计）
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软件
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动作OS
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Windows98/NT4.0 或 PCDOS J7.0/V
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选项功能
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局域网对应
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外部HOST PC/装置HOST PC的通信 SECS-Ⅰ/Ⅱ标准
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