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制造工程
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检查装置
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＜全自动检查＞
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<计测、缺陷再评价＞
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发料工程
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↓
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Ori.Fla.检查装置
Ori.Fla.的形状及投入方向的检查
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→异品种、异常品的排出
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Cr/树脂
成膜工程
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Pin hole检查装置
基板的Pin hole检查
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↓
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特性检查→
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浓度反射型分光测定装置
Cr/树脂成膜后的膜后管理
及反射分光特性分析
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BM形成
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BM Mark 形状检查
BM Mark 形状不良检查
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↓
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BM透过率计
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着色
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R.G.B工程检查装置
CF的白点.混色.异物.BM缺陷等的Pattern缺陷检查
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↓
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目视检查支援System
目视检查（皱纹、划痕等）的
补助及最终基板评价的输入
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ITO形成
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↓
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Review Station
各种缺陷的Review、突起
高度计测等
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切断
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观察检查装置
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出荷前検査装置
玻璃缺陷、表里面划伤
污点检查
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原子力显微镜(AFM)
三次元形状测定、表面粗
糙度、CF残留、Rib形状
测定、MVA形状、反射膜
形状等。
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