PDP晶格检查装置 —— CMP-5700
适合在各制造工程中IN LINE全数检查。
表示部范围/端子部范围等进行全数检查。
最大对应60Inch。
（一）特点：
● 针对PDP基板上各种Pattern/保护膜及素玻璃利用CCD LINE感应器摄像头与本公司独自开发的画像处理系统组合方式进行高速/高精度的进行检查。
● 针对Pattern的开路/短路/欠落/溢出/保护膜及对素玻璃的伤害/异物进行检出，并对检出缺陷利用观察显微镜功能进行目视确认及分类。
● 具备与各制造工程或周遍设备等的I/F功能及根据装置内基板搬送机构，在各制造工程中容易实现IN LIEN全数检查作业。测定部上安装有高性能除振台的同时利用高刚性/低重心设计来防止外部对装置带来的振动。
（二） 主要规格：
制品名／型号
PDP Pattern检查装置 CMP-5700
检查（测定）项目
Pattern欠落、断线、溢出、短路、气泡、异物、伤痕等
画像精度显微镜倍率
标准Type ：□10.0um 高感应度Type： □7.5um
检查时间
约90秒/40Inch玻璃基板（标准Type）
对应基板尺寸
60Inch玻璃
照明系统（光学系统）
全反射、同轴落射、扩散反射
检出（测定）感应器
CCD LINE 感应器摄像头
装置外形尺寸(mm)
约2200(W)×3800（D）×2200（H）
本体重量
约4000Kg
