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设 备 一 览 表
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名称/型号
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其他
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画像
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TFT陈列基板关联检查装置
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CD/OVERLAY
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尺寸、重合测定
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TFT晶格检查装置
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复合检查装置 ASP
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尺寸、重合、晶格
检查统合装置
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☆
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CF关联检查装置
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Cr/ITO基板检查装置
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Cr晶格检查装置
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BM位置偏移检查装置
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ITO基板晶格检查装置
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ITO位置偏移、模糊检
查装置
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透过率计
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浓度计＆反射分光测定装置
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Cr气泡检查装置
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浓度反射型分光测定装置
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BM检查装置
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BM Mark形状检查装置
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BM透过率计
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R.G.B工程检查装置
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目视检查支援Syatem
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最终检查装置
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Rib检查装置
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出货前检查装置
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PDP关联检查装置
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晶格检查装置
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原子力显微镜AFM
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AS-7B
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☆
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