1.1 设备主要功能
Pattern检查和线宽/重合偏移检查在一个装置上实现的LINE TYPE装置。
1.2 ASP装置特点
特点1. 复合功能安装
功能1. Pattern线宽测定(CD/OVERLAY)
功能2. Pattern重合偏移检查
功能3. Pattern缺陷检查
特点2. 全数检查对应型
◆ 业界最高速CCD线感应器摄像头安装
◆ 检查时间 55秒/枚 以下(基板尺寸550mm×650mm 计算) Cassette → LD → 机械对位
→ ID读取 → 画像对位 → 检查 → ULD →Cassette※ 根据缺陷分布进行异常原因的分析※ 制造不良的最小化
特点3. 省空间 ＆ 高性价比
线宽测定/重合偏移检查和Pattern检查装置一体化设计解决了之前非效率的设备布局,及本公司独自设计实现高性价比。
特点 4. 丰富的分析软件和统计数据处理功能(输出功能)
◆ 缺陷尺寸分类 尺寸 S. M. L (面积和长宽尺寸进行分类)
◆ 白缺陷.黑缺陷分类
◆ 缺陷坐标识别
◆ Lot间/Chip间共通缺陷识别
◆ 集合缺陷分类
◆ 各种统计处理功能 线宽Ave. Max. Min. 3σ等
◆ 缺陷观察
◆ 曝光装置的通信系统功能
特点5. CIM.LAN等丰富的通信功能安装
◆ 开工.完工指示命令
◆ 检查条件自动切换
◆ 检查结果报告
◆ 判定结果报告
◆ 周遍装置的数据共享化(曝光装置.显微镜装置.高分解能检查装置等)
特点6. 起灰尘对策
◆ 发尘部分用全封闭盖板及根据TACT的清洁化实现
1.3设备照片 |
