装置外观
AFM原理
测定图象例
规格
TFT(100um×100um、最大高度)
低温多晶硅(1.6um×1.6um)
配向膜(3um×3um)
反射膜(45um×45um)
Gate线(20um×20um)
MGO膜(1um×1um)
ITO膜(2um×2um)
CF(135um×135um)