3D CT X-ray Inspector NLX-5000
Feature

3维CT机能
能在高速中拍摄出比用倾斜型的CT方式更高分辨率的图像。据此,能够再构成鲜明的3维图像。(最小图像分辨率:1μm)
倾斜型CT是使X光源和检验对象接近,能够至今的垂直型CT方式中最难的高分辨率的图像。

自动检验机能
加上用垂直检出器拍摄的透视图像,比起用倾斜检出器得到的3维情报,能够得到更高精度的自动检验。另外,运用本公司特有的空隙检出方式(特许第4408645号),能检验出最小10μm的空隙。

【将容器作为对象的检验项目】
异物/脱落/ブリッジ

【バンプ形状相关的检验项目】
中心厚度/平均厚度/厚度变动率/面积/体积/真圆度/横截面面积比/扁平率/バンプ重心位置
【将バンプ作为对象的检验项目】
空隙面积/空隙直径/异物
(还有,对于按照顾客的需求进行检验。具体的情况还请询问营业担当。)

解析机能
利用鲜明的3维CT图像和透视图像,能够比丰富的解析机能得到更详细的观察。
【3维CT图像解析】
3D断层解析/3D渲染图像解析(选项)
【透视图像解析】
尺寸测定/线流动率测定/1D/2D轮廓等
【厚度测定机能】
根据检验对象物和与其相同组成的基准样本的相比较,将亮度值转换成厚度信息后输出。
【 焊锡检验项目】
中心厚度/平均厚度/厚度变动率/面积/体积/空隙/异物/脱落/ブリッジ



Specification
机种 NLX-5000
X射线管 开放型微焦点X射线管,焦点尺寸 最小1μm
X射线检出器 平面面板感应 110万像素      
(根据选项也可以选择600像素)
图像分辨率 垂直检出器:0.5μm~12.5μm 倾斜检出器:1.0μm~20.0μm
检验对象基板 300(W)×250(D)mm
电源 AC100V±10%(单倍)50/60Hz 3.0kVA以下
外形尺寸 1700(W)×1500(D)×1750(H)mm
重量 约2600kg
使用环境条件 温度:20~30℃,湿度:35~80%RH(没有结露)
泄漏射线量 0.5μSv /h以下

 

 
  Micro Focus CT system SFX-130 CT
Feature →Realizes high image quality and accurate internal inspection.
→Resolution is twice as before.
→With micro focus X-ray System.
<X-ray tube Close type>
→SOFTEX CT System
→Various measurement function can be available as option.
Specification

Output
MAX Tube Voltage .Current:130KV 0.1mA
Detector
Soft X-ray I.I camera<Beryllium window type>
CT system
Scan type:Offset/180 °/360°
Total resolution
About 7 um