⒑ LC-80T
⒐Feature → Micro Focus装置在半导体领域用最新、全自动 In-line 设备.
→ 半导体 Wire状态,Void自动检查及自动不良判定
→ Load & Unload
⒐Specification

→ 80KV,0.1mA
→ Focus size 10.
→ Magnification 80x
→ 安装I.I Camera
→ Software ZET1安装各种测定功能及2D,3D,Image保存等功能
→ NG marking & NG自动进行剥离功能
→ 检查Data自动输入及输出
→ 精密搬送装置实现精确位置搬送